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  • 정밀제진대
  • Desktype Clean Workstation
  • 진동에 민감한 정밀장비의 완벽한 사용을 위하여

    외부환경의 미세진동을 제거하고 고유진동수를 낮추어 주며, 또한 안정화 시간의 단축을

    위한 최고의 성능으로 설계되어 있습니다.

◆ 모델 및 사이즈

Model

Isolation Size (mm)

 Work Space(mm)

KCW-0405-R600

400 × 500

 R600

KCW-0506-R600

500 × 600

 R600

KCW-0606-R600

600 × 600

 R600

KCW-0607-R600

600 × 700

 R600

KCW-0707-R600

700 × 700

 R600

KCW-0708-R600

700 × 800

 R600

KCW-0808-R600

800 × 800

 R600

KCW-0909-R600

900 × 900

 R600

KCW-1075-R600

1000 × 750

 R600

KCW-1209-R600

1200 × 900

 R600

※ 고객의 요구사항에 따른 주문제작 가능

 

◆ 적용분야

    - Microscope

    - Probe Station

    - Profiler

    - Wafer Probe Station

    - Mask Aligner

    - 기타 반도체 정밀 장비

 

◆ 특징

    - 반도체용 Isolation Table로 Cleanroom에 사용 가능한 All Stainless Steel 재질의 제품입니다.

    - 제진 상판과 일반 데스크 부분이 분리되어 있으며, 일반 데스크 부분은 Stainless Steel 제품입니다.

    - 제진 상판 Steel + Stainless Steel Cover를 사용합니다.

    - 박형 Isolator를 장착하였으며, 우수한 진동제어 성능을 갖추고 있습니다.

    - 박형 3 Auto Level Valve를 장착하였으며, 빠른 수평조절이 가능합니다.

    - Caster가 장착되어 있어 운반이 용이합니다.

 

◆ Specification

     - Isolation : Pneumatic Type

     - Natural Frequency

       ○ Vertical : 1.2~1.5Hz

       ○ Horizintal : 1.5Hz~2.0Hz

     - Auto Level Control

       ○ Level Control : 3 Auto Level Control

       ○ Repeatability : ±0.1mm

     - Load Capacity : 150kg ~ 400kg

     - Air Supply : 5~7kgf/㎠